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{{Template:ELN:Device
|NOTE=Yes
|Picture=Sensofar.png
|InternalName=Interferometric/confocal microscope
|OfficialName=S neox 3D optical profiler (SENSOFAR Metrology)
|DeviceType=Analysis and Testing
|DeviceLoad=High
|Scope=Recording and analyzing surface topographies
|Institute=FWO
|Department=FWOT
|Location=L4.0/261
|Contact=Holger Lippold
|Operator=Holger Lippold, Stefan Schymura, Till Bollermann, Maria Cardenas Rivera, Cornelius Fischer
|Commercial=Yes
|Description=Optical surface analytics in a height range from nm to µm by (1) Vertical Scanning Interferometry, (2) Confocal Profiling, (3) Focus Detection
}}
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Version vom 3. November 2021, 16:01 Uhr

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